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喜開理小型流量傳感器,銷售CKD小型流量傳感器
在確認(rèn)吸附電子部件中發(fā)揮威力。
應(yīng)用硅微觀加工的白金傳感器觸頭
新方案的整流機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了以前所沒有的小型·高速響應(yīng)。
液體電導(dǎo)率 5μS/cm以上
檢測(cè)方式 靜電容式
額定流量范圍 0.5~15 L/min 2.0~60 L/min
小流量切斷流量 注1 測(cè)量范圍zui大流量的3％
流體溫度 ０~85℃（不得凍結(jié)）
表示單位 瞬時(shí)流量L/min累計(jì)流量L、kL、ML
重復(fù)精度 注2 ±2.0%F.S
溫度 環(huán)境溫度特性 注2 ±5.0％F.S（25℃標(biāo)準(zhǔn)）
喜開理小型流量傳感器,銷售CKD小型流量傳感器
響應(yīng)時(shí)間 注3 0.25 s/0.5 s/1 s/2 s/5 s （初始值1s）
壓力損失 0.02MPa以下（zui大額定流量時(shí)）
開關(guān)輸出 NPN或PNP晶體管輸出
zui大負(fù)荷電流 50mA
zui大施加電壓 DC30V
內(nèi)部電壓降 電壓降NPN ：2.0V以下 PNP ：2.4V以下
輸出保護(hù) 過電流異常報(bào)警、過電流保護(hù)
確認(rèn)電子部件的吸附，各種N2凈化氣體流量管理等
熱式流量傳感器·快速流動(dòng)
高速響應(yīng)與壓力傳感器樣（響應(yīng)由配管的內(nèi)容積、壓力等決定）
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